電源電纜。
種類：雙頭接插件型（附帶1個鐵氧體磁芯(φ30 × 39mm)）。
電纜長度：5m。
同級最高水準的真正除電。
利用傳感和可調AC方式實現高速細致的除電ZEN-20C3DR-D-V2。
采用連接結構，保證大范圍均勻除電。
數字式離子顯示器，輕松準確設定。本體。
總長度：450mm。
有效除電長度：580mmZEN-20C3DR-D-V2
同級最高水準的真正除電。
利用傳感和可調AC方式實現高速細致的除電。
采用連接結構，保證大范圍均勻除電。
數字式離子顯示器，輕松準確設定。監測2波長的等離子發光量。
實現了高精度、小型化、低價格。
輕松實現蝕刻和清潔的端點的監測。
輕公地進行蝕刻、清潔的等離子發光的監測。
通過用過濾方式檢測2波長，實現小型化、低價格ZEN-20C3DR-D-V2。種類：可選件。
品名：擴展端子套件（ZR-RX45用）。
有力支持著所有現場的測量場合。
安心的全通道絕緣、支持多功能輸入。
最大200CH的擴展性 （ ZR-RX45）。
簡單LAN連接 （ ZR-RX45/ZR-RX70）。
光學系統：漫反射型。
檢測距離：350正負135mm。
光束形狀：點光束。
光束直徑：φ240μm。
分辨率：20μm。
電纜長度：2m。分類：防滴型，標準型。
接點間隔：G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋：無。
驅動桿：反向動作擺桿型。
端子的種類：焊接端子。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型ZEN-20C3DR-D-V2。本體。
總長度：370mm。
有效除電長度：500mm。
同級最高水準的真正除電。
利用傳感和可調AC方式實現高速細致的除電。
采用連接結構，保證大范圍均勻除電。
數字式離子顯示器，輕松準確設定。分類：防滴型，標準型。
接點間隔：G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋：無。
驅動桿：反向動作滾珠擺桿型。
端子的種類：焊接端子。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能能的防滴端子保護蓋和塑封端子型ZEN-20C3DR-D-V2通訊手冊。品名：微粒測量型0.3μm/00.5μm/1.0μm或以上ZEN-20C3DR-D-V2通訊手冊。
電源：DC電纜。
常時監視影響產品質量的灰塵和微粒。
適宜常時測量的緊湊設計。
搭載LAN端口等多種I/F。
高精度測量浮游的微粒。
1臺傳感器既可測量粗粒，又能調查塵源。