利用PC對清潔室及簡易清潔室的溫度、濕度、差壓、
耗電量等制造環境。
實施統一管理的軟件。
集中管理生產現場的環境信息。
實時分析測量數據。
安裝場所和測量狀況均可通過地圖了解。
可僅將所需數據轉換成Excel格式。分類：超高靈敏度。
接點間隔：H (0.20mm)。
驅動桿：針狀柱塞型。
端子的種類：焊接端子Z-15EQ22-B
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。驅動桿：面板安裝滾珠柱塞型。
小型、高精度封閉式開關。
帶內置標準型開關的小型、高精度封閉式開關，
確保高可重復性和耐久性，操作次數最少10000000次。
安裝間距與Z標準型開關相同。
與傳統限位開關相比，所需操作力更小。
產品系列中包含帶操作指示燈的型號，易于維護和檢測。
通過EN、UL、CSA和CCC （中國標準）標準認證。光學系統：漫反射型。
檢測距離：80正負15mm。
光束形狀：線光束。
光束直徑：900mm×60μm。
分辨率：2μm。
電纜長度：2m。分類：高靈敏度。
接點間隔：H (0.25mm)。
驅動桿：彈簧細柱塞型。
端子的種類：焊接端子。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。電源電纜。
種類：單頭接插件型（附帶1個鐵氧體磁芯(φ30 × 39mm)）。
電纜長度：15m。
同級最高水準的真正除電。
利用傳感和可調AC方式實現高速細致的除電。
采用連接結構，保證大范圍均勻除電。
數字式離子顯示器，輕松準確設定。分類：防滴型，標準型。
接點間隔：G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋：無。
驅動桿：觸須須型（盤簧型）。
端子的種類：螺絲端子。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達155A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。