晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E5EC-RR2ASM-000使用說明書。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。尺寸：48×48mm。
本體：端子臺型。
種類：控制輸出2點型（電源AC/DC24V用）E5EC-RR2ASM-000
外殼顏色：黑色。
控制輸出1：電壓輸出（SSR驅(qū)動用）。
控制輸出2：電壓輸出（SSR驅(qū)動用）。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點數(shù)：2點。
加熱器用斷線、SSR故障檢測功能：--。
事件輸入點數(shù)：--。
傳送輸出：傳送輸出（專用端子）。
通信：--。
通用溫控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度輸入）型產(chǎn)品E5EC-RR2ASM-000使用說明書。
支持簡易運(yùn)算、預(yù)防維護(hù)，采用新型液晶，可視角度、對比度得以提升。
高分辨率的5位顯示/可顯示0.01°C（實現(xiàn)了48×48mm的小尺寸）。
高速采樣周期60ms。
全部機(jī)型（熱電偶/Pt/模擬輸入切換），1臺機(jī)器支持多種傳感器。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)。
（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SV。
通過支持軟件（CX-ThermoVer.4.0）進(jìn)行簡易運(yùn)算功能（AND/OR邏輯和延時）設(shè)定，
能夠執(zhí)行柔性的接點輸出
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預(yù)測溫控器內(nèi)部繼電器的故障種類：直流2線式(無自診斷輸出功能)0.3m）E5EC-RR2ASM-000使用說明書。
導(dǎo)線規(guī)格：PUR（耐油強(qiáng)化）。
極性：有。
動作模式NC。
會提示線圈斷線等故障及檢測不穩(wěn)定狀態(tài)的自診斷功能輸出型品種齊全。
有助于實現(xiàn)預(yù)防性維護(hù)，防止生產(chǎn)線停轉(zhuǎn)。
簡化配線過程，降低資源使用，有效減小功耗，助力環(huán)保事業(yè)。
配線作業(yè)時間及銅線使用量僅為3線式的三分之二。
電流消耗量大幅降低至10%以下。 (直流2線式與直流3線式相比)
所有小口徑型號均采用屏蔽結(jié)構(gòu)。
即使將傳感器安裝在狹小區(qū)域或嵌入金屬中，仍然具有較高的工作穩(wěn)定性。
配有明亮醒目的指示燈，輕松查看安裝環(huán)境。尺寸：96×96mm。
控制輸出1：繼電器輸出。
控制輸出2：--。
輔助輸出：獨立2點。
電源電壓：AC100～240V。
端子形狀：螺釘端子臺型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱斷線、SSR故障檢測功能：1點。
通信：RS-485。
事件輸入：6點。
遠(yuǎn)程SP輸入：有。
傳送輸出：有。
清晰易讀的大屏白光PV顯示。從選型到設(shè)定與操作均簡單易用。
完整的I/O容量、功能和性能范圍。適合更多應(yīng)用。
E5AC的白光LCDPV顯示屏高度約為25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信轉(zhuǎn)換線（另售）連接至電腦上來建立控制器而不需要為電源安裝電線。
輕松安裝CX-Thermo（另售）。
50ms高高速采樣周期E5EC-RR2ASM-000手冊。
型號可配備最多4點輔助輸出，6點事件輸入，
1點傳傳送輸出和遠(yuǎn)程SP輸入，適合一系列廣泛的應(yīng)用E5EC-RR2ASM-000手冊。
主體短小，厚度僅為60mm。
易于使用未編程通信連接到可編程邏輯控制器(PLC)。
使用部件通信將溫控器互相連接。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。